漏液傳感器的使用

液體泄漏傳感器安裝在使用化學(xué)溶液和純水等液體的生產(chǎn)設(shè)備和機(jī)器的管道和管道接頭周圍，液體儲罐和液體泵中發(fā)生的冷凝，冷卻管道，通風(fēng)室等。這樣可以及早發(fā)現(xiàn)液體泄漏。

1、半導(dǎo)體制造設(shè)備中的凝露、液體泄漏檢測

設(shè)備周圍安裝有液體泄漏傳感器，用于檢測清潔設(shè)備內(nèi)部的冷凝以及向周圍區(qū)域的液體泄漏。

2、化學(xué)品儲罐管接頭泄漏檢測

通過將液體泄漏傳感器纏繞在液體可能泄漏的區(qū)域（例如管道接頭）來檢測液體泄漏。

3、CMP設(shè)備計量槽液體泄漏檢測

液體泄漏傳感器可檢測液體泄漏到 CMP 設(shè)備的排水盤中，從而拋光和平整晶圓表面，防止設(shè)備損壞和晶圓清潔失敗。

4、防爆區(qū)域漏油檢測

泄漏傳感器檢測生產(chǎn)設(shè)備和防爆區(qū)域設(shè)備使用的液壓缸等液壓驅(qū)動設(shè)備的漏油情況。

5、大型公寓、辦公樓漏水檢測

利用漏水傳感器可以遠(yuǎn)程檢測大型建筑的供水設(shè)備、供水管道、廢水管道的漏水情況，并及時采取措施。