面波式氣體傳感器的介紹

 氣體傳感器是氣體檢測系統的核心，通常安裝在探測頭內。從本質上講，氣體傳感器是一種將某種氣體體積分數轉化成對應電信號的轉換器。探測頭通過氣體傳感器對氣體樣品進行調理，通常包括濾除雜質和干擾氣體、干燥或制冷處理、樣品抽吸，甚至對樣品進行化學處理，以便化學傳感器進行更快速的測量。面波式氣體傳感器是氣體傳感器中重要的一種。
   面波式氣體傳感器制作在壓電材料的襯底上，一端的表面為輸入傳感器，另一端為輸出傳感器。兩者之間的區域淀積了能吸附VOC的聚合物膜。被吸附的分子增加了傳感器的質量，使得聲波在材料表面上的傳播速度或頻率發生變化，通過測量聲波的速度或頻率來測量氣體體積分數。主要氣敏材料有半孔PCB氟聚多元醇等，用來測量苯乙烯和甲苯等有機蒸汽。其優勢在于選擇性高、靈敏度高、在很寬的溫度范圍內穩定、對濕度響應低和良好的可重復性。面波式氣體傳感器輸出為準數字信號，因此可簡便地與微處理器接口。此外，面波式氣體傳感器采用半導體平面工藝，易于將敏感器與相配的電子器件結合在一起，實現微型化、集成化，從而降低測量成本。
   氣體傳感器主要應用在環境檢測和智能家居上，未來氣體傳感器將向著微型化，智能化的方向發展。